、1洁净室外(区)clean room(area) 3、3粒子partlde一般尺寸为0.001~1000pm的固态和液态物质。 3、4洁净度cleanllnes洁净环境内单位体积空气中合大于或等于某一粒径的悬浮粒子的允许统计数。 3、5单向流unidirectional air flow (曾称为层流amlflar flow)沿着平行流线,以一定流速、单一通路、单一方向流动的气流。 3、6非单向流 nonunidirectional air flow (曾称为乱流turbulent flow ) 3、7 t分布 t distslblltlofl 正态总体中的一种抽样分布,其分布函数为 t=总体平均值-样本平均值/标准误差 3、8置信上限(UCL) upper confidence limit 从正态分布抽样得到的实际均值按结定的置信度(此处为95%)计算得到的估计上限将大于此实际均值,则称计算得到的这一均值估计上限为置信上限。 3、9 静态测试at-rest test 洁净室(区)净化空气调节系统已处于正常运行状态,工艺设备已安装,洁净室(区)内没有生产人员的情况下进行的测试。 3、10 动态测试operational test 洁净室(区)已处于正常生产状态下进行的测试。 4、测试方法 4、1方法提要本测试方法采用计数浓度法,即通过测定洁净环境内单位体积空气中含大于或等于某粒径的悬浮粒子数,来评定洁净室(区)的悬浮粒子洁净度等级。 4、2仪器 a)光散射粒子计数器(用于粒径大于或等于0.5μm的悬浮粒子计数); b)滤膜显微镜(用于粒径大于或等于spin的悬浮粒子计数。 4、2、1。光散射粒子计数器原理 空气中的悬浮粒子在光的照射下产生光散射现象,散射光的强度与粒子的表面积成正比。 4、2、2光散射粒子计数器使用要点 使用仪器时应严格按照仪器说明书操作 4、2、2、1仪器开机,预热至稳定后,方可按说明书的规定对仪器进行校正。 4、2、2、2采样管口登采样点采样时,在确认计数稳定后方可开始连续读数。 4、2、2、3采样管必须干净,严禁渗漏。 4、2、2、4采样管的长度应根据仪器的允许长度。除另有规定外,长度不得大于1、5m。 4、2、2、5计数器采样口和仪器工作位置应处在同一气压和温度下,以免产生测量误差。 4、2、2、6必须按照仪器的检定周期,定期对仪器作检定。以保证测试数据的可靠性。