5、1、1温度和湿度 洁净室(区)的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应(控制在18℃~24℃,相对湿度控制在45%~60%之间为宜) 5、1、2压差 空气洁净度不同的洁净室(区)之间的压差应)4.9Pa,空气洁净度级别要求高的洁净室(区)对相邻的空气洁净度级别低的洁净室(区)一般要求呈相对正压。 5、2测试状态 有静态测试和动态测试。静态测试时,室内测试人员不得多于2人。测试报告中应标明测试时所采用的状态。 5、3测试时间; 5、3、1对单向流,测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于10min后开始 5、3、2对非单向流,测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于30min所开始。 5、4悬浮粒子计数 5、4、1采样点数目及其布置 悬浮粒子洁净度监测的采样点数目及其布置应根据产品的生产及工艺关键操作区设置。一采样点布置规则见附录A(标准的附录)。 悬浮粒子洁净度等级难的采样点数目应按5、4、1、1和5、4、1、2布置。 5、4、1、1较少来样点数目悬浮粒子洁净度测试的较少采样点数目可查表达式确定。 表1较少采样点数目 面积 m2 洁净度级别 100 10000 100000 <10 2~3 2 2 ≥10~<20 4 2 2 ≥20~<40 8 2 2 ≥40~<100 16 4 2 ≥80~〈150 40 10 3 ≥100~<200 80 20 6 ≥200~<400 160 40 13 ≥400~<1000 400 100 32 ≥1000~<2000 800 200 63 注:表中的面积,对于单向流洁净室,指的是送风面积;对非单向流洁净室,指的是房间面积。